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雙級(jí)旋片真空泵的工作原理

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發(fā)表時(shí)間:2020-07-15 14:10作者:ysvac來源:Leybold萊寶真空

微信圖片_20200715141228.jpg

旋片泵設(shè)計(jì)原理


包含圓柱形泵室,主要有定子、轉(zhuǎn)子和旋片組成。轉(zhuǎn)子上的旋片由于離心力或彈簧彈力迫使其向外并沿泵室內(nèi)壁滑動(dòng)。氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入,被旋片推動(dòng)并最終由排氣口排出,排氣口裝有油封的排氣閥。

(1)旋片泵應(yīng)用范圍

油封式旋片泵在真空工藝中被廣泛使用,既適用于工業(yè)生產(chǎn)也適于科研,可產(chǎn)生粗到中真空范圍。

(2)旋片泵運(yùn)行原理(以單級(jí)三葉片為例)

一個(gè)抽排周期中的不同狀態(tài)

微信圖片_20200715141238.jpg




視頻展示的是雙級(jí)旋片泵工作原理,其中兩級(jí)前后串聯(lián),被抽氣體逐級(jí)被壓縮后,推開排氣閥,排至泵外。泵工作室用泵油做密封,是抽氣室、壓縮室、過壓室和排氣室相互隔絕。如果泵所抽氣體水蒸氣含量較高,還須打開氣鎮(zhèn)。

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