萊寶皮拉尼真空計TTR 96 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。

TTR 96 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器 元件，元件測量基于熱傳導(dǎo)性的測量。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

應(yīng)用

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測量

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力，利用繼電器設(shè)定點采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

P/N: 230045V02 和 230047V02 含有 Parylene-HT?涂層傳感器。

Parylene-HT?是保形涂層，氣體阻隔性絕佳，不釋氣。與標(biāo)準(zhǔn) MEMS Pirani 相比，Parylene-HT?涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的**材料只有 Parylene-HT?涂層。 如需更多詳情，請聯(lián)系應(yīng)用支持部門。

廢棄處理

TTR 91 N 和 96 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。

技術(shù)數(shù)據(jù)

測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

測量范圍 (N2 和空氣):   5×10-5 至 1000 毫巴

精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 10%

1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 5%

100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 25%

重復(fù)性 (1) (N2):   1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 2%

電源電壓: 9 – 30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安

模擬輸出 (100 歐阻抗): 0.61 – 10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進制

模擬輸出分辨率: 16 位

模擬輸出更新率: 16 赫茲

傳感器故障，模擬輸出:   0.5 伏

材料暴露于真空 (2):

P/N: 230035V02 至 230043V02: 304 號不銹鋼、密封材料 FPM

P/N: 230045V02、230047V02: 304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT?

設(shè)定點繼電器:

P/N: 230035V02 至 230038V02: 0

P/N: 230040V02 至 230047V02: 2

設(shè)定點繼電器范圍: 2×10-4 至 1000 毫巴

設(shè)定點繼電器觸點額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負載)

設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間: < 100 毫秒 設(shè)定點繼電器觸點電阻: 100 毫歐 (**值)   設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)

設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)

內(nèi)部容積:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80 厘米3

P/N: 230036V02: CF 16 3.71 厘米3

P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8” 3.04 厘米3 P/N: 230037V02、230047V02: CF 16 (可烘烤) 23.14 厘米3

外殼材質(zhì): 304 號不銹鋼

重量:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: 168 克

P/N: 230036V02: 195 克

P/N: 230038V02、230043V02: 183 克

P/N: 230037V02、230047V02: 250 克

**允許壓力:   6 巴

運行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉) (3): 85 °C (185 °F)

250 °C (482 °F) (僅適用于 P/N: 230037V02、230047V02) (3)

燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

異物防護等級: IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒

(1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。

(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯(lián)系 Leybold。

(3) 只有 CF 16 法蘭末端處允許采用烘烤溫度。變送器溫度不得超過 85 °C (185 °F)。因此，不建議在烘烤期間熱絕緣或直接加熱變送器和法蘭。  

配件和備件編號